【相談】：工場で使用している圧縮空気設備の省エネを行うのによい方法はないでしょうか。

A：今回紹介する半導体工場では、クリーンルームを汚染しない超クリーンで超低露点の圧縮空気を安定した圧力で供給するため、高品質・高機能の機器が選定されています。

工場の製造ラインは絶対に止められないので、冗長化された設備構成となっており、1台が故障しても瞬時にCDAを送気できるように、常時2台運転を行っています。

圧縮機は、現在主流のスクリュー式のオイルフリータイプが選定され、その後に冷凍式と加熱式のドライヤーを装備し、最後に0.03μmのフィルターを通して、-80℃以下の低露点まで下げて供給しています。加熱式ドライヤーは、吸着材に吸着した水分をヒーターで加熱し乾燥（加熱再生)させて繰り返し使用しており、初期設定では12時間ごとに加熱再生を行っていました。

圧縮空気の省エネとして、再生サイクルを変更した事例について概説します。

キーワード：クリーンルーム、超低露点、圧縮空気、コンプレッサー、CDA、再生サイクル、省エネ

※掲載紙面は、発売から6か月後(2024年7月頃）の公開予定です。