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クリーンルームの室内圧力の可視化方法

2025.12.23
お悩み相談室

【相談】
クリーンルームの室内圧力を可視化するには、どのようにしたらよいでしょうか。

A:
製造工程の変更に伴う間仕切り改造で、クリーンルームの室内圧力が変化する可能性があります。ANSI規格では、清浄度クラスの高い部屋(ISO Class 6)は隣室より高い圧力を維持することが求められます。
本記事では、実際の工場で行った水蒸気やタフトによる気流の可視化、風速測定による圧力差の確認といった具体的な手法を紹介します。
さらに、これらの方法はクリーンルームだけでなく、厨房の臭気漏れやビルの隙間風対策など、業務用施設のトラブル対応にも応用可能です。

キーワード:クリーンルーム、室内圧力、気流(気流方向・気流分布)、風速測定(微風速計)、HEPAフィルター(清浄空気供給)